триодный способ ионного распыления при низком давлении

mažaslėgis triodinis dulkinimo būdas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. low-pressure triode technique vok. Niederdrucktriodenzerstäubungstechnik, f rus. триодный способ ионного распыления при низком давлении, m pranc. méthode triode de pulvérisation ionique sous basse pression, f